施設の概要
名古屋大学 未来材料 ・システム研究所 先端技術共同研究施設
Research Facility of Advanced Science and Technology Nagoya University
先端技術共同研究施設には，426平米のクリーンルームを中心に薄膜形成装置，微細加工プロセス装置，分析・評価装置が設置されており，施設内でナノ材料の開発やからデバイスの試作と評価まで一貫して行うことができます。本施設は，装置の共同利用，ノウハウの提供，技術相談などを通して，先端的な材料・デバイス開発を支援しており，学内外の多くの研究者に利用いただいています。施設の維持管理には，本施設のスタッフに加え，学内の利用グループのスタッフに多大な協力をいただいています。また，維持経費のために利用者には，クリーンルームや各装置の利用料金をご負担いただいております。
左図は施設の配置と共用装置を示しています。
◆各施設の説明
下の写真は，デバイスプロセス室（クリーンルーム301平米，クラス10,000）の写真を示しています。この部屋には，下の写真に示すようにスパッタリング装置，分子線エピタキシー装置(MBE)，電気炉，急速加熱装置，クリーンドラフト，CVD装置，イオン注入装置，反応性エッチング装置，ICPエッチング装置，ダイシングマシン，ワイヤボンダなどが設置されており，デバイス作成のための各種のプロセス装置が備わっています。クリーンルームには，超純水，機器冷却水，ドライエア，液体窒素，窒素ガス，酸素ガスなどを供給するユーティリティが備えられております。
下の写真は，イエローライトの微細加工室（クリーンルーム98平米，クラス1,000）を示しており，この部屋には，複数のマスクアライナ（片面／両面），スピンコーター，スプレーコーター，ベーク炉，FE-SEM，表面粗さ計などが設置されている（装置配置図参照）。下側の写真に示すマスク室（クリーンルーム27平米，クラス1,000）には，100kVの電子線描画装置が設置されており，ナノメートルレベルのパターンの描画が可能となっています。
クリーンルーム外の研究ルームにも多くの共用装置が設置されております。下の写真に示す分析室には，X線回折装置，ESCA，STM, 透過型電子顕微鏡などが，151実験室には，真空一貫の8元スパッタ-8元MBE-ECRエッチング複合装置，原子間力顕微鏡が，102実験室には，フェムト秒レーザ加工分析装置が設置されています。また，会議室，研修室もセミナーなどにご利用いただけます。
以上のように，本施設には，先端的な材料・デバイス開発をするための施設が備えられ，学内外の多くの研究者に利用いただいています。施設の維持管理には，本施設のスタッフに加え，学内の利用グループのスタッフに多大な協力をいただいています。また，維持経費のために利用者には，クリーンルームや各装置の利用料金をご負担いただいております。
