利用案内
お問い合わせ
本施設の利用を希望される場合は，利用申込書様式1（利用申請書）及び様式2（利用登録者リスト）をダウンロード（学内用）して本施設の事務室に提出してください。また，本施設は，マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）事業を推進しており，この事業を通して各種の支援を行っていますので，マテリアル先端リサーチインフラへの申請もお願いします。なお，学外の方は，マテリアル先端リサーチインフラに申請いただくことで施設をご利用いただけます｡
本施設の入退出は，カードゲートで管理されていますので，利用者は学生も含めて，全員の登録をお願いします。施設の利用の方法については，利用ガイドをダウンロードして熟読してください。
クリーン度の維持，超純水，機器冷却水，高圧ガスなどの維持管理には，利用者全員がルールを守って利用いただくことが必須です。
| 利用申込書 DL | 利用ガイド DL |
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【マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）事業について】
本施設は，名古屋大学のプラズマナノ工学研究センター，ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー(VBL)とともに文部科学省のマテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）事業に参画しております。本事業は，産官学の多様な利用者による設備の共同利用を促進することで，さまざまな技術的課題の解決へのアプローチを提供するとともに，異分野融合の研究を推進しています。本施設の装置の多くは，マテリアル先端リサーチインフラ事業の登録装置として，維持費などについてサポートを受けていますので，本施設の利用者には，マテリアル先端リサーチインフラ事業への利用申請もお願いしております。
詳細は，下記，マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）事業のホームページをご覧下さい。
【利用料】
1. マテリアル先端リサーチインフラ事業の支援装置を利用いただく場合は，利用時間に応じた利用料を徴収しております｡
2. 先端技術共同研究施設では，施設への入室時間に応じて，利用料を徴収しますが，マテリアル先端リサーチインフラの装置を利用した時間は，差し引いた額を請求いたします｡
※ 詳細は，ARIM名古屋大学（微細加工）事務局にお問い合わせ下さい｡